大連工業(yè)特種氣體-安徽譜純(在線咨詢)：

 特種氣體應用于國民經濟的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領域發(fā)揮著巨大的作用。我國特種氣體經過30余年的發(fā)展, 無論在氣體品種上,還是在數(shù)量上, 都以的速度發(fā)展, 生產的品種基本上滿足了市場的需求。電子特種氣體種類多，應用領域廣泛。 電子特種氣體在半導體整個制程應用中成本占比僅為 5%~6%，但是由于其品種繁多，在半導體制程工藝中覆蓋廣泛，因此成為衡量半導體技術的核心產品。自80年代1開始，我國的氣體工業(yè)迅速發(fā)展，各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標準氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問世，其品種數(shù)目已與國外發(fā)達國家水平相近。

 電子特種氣體種類多樣行業(yè)集中度高，細分領域整合開啟進口替代新征程。2016 年全球半導體行業(yè)用電子特種氣體市場規(guī)模達到 36.8 億美元，同比增長 5.7%；國內方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元，預計到 2020 年將突破 68 億元。特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備，一般應配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。滅菌特種氣體的主要成分是環(huán)氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯，環(huán)氧乙1烷可殺滅細1菌（及其內孢子）、霉菌及真1菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。

特種氣體分類：標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻， 穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體，可分為單元標準氣體和多元標準氣體，目前標準氣基本 滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領域的需求，特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻，穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體，它可以是單一的純氣體或高純氣體，也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一，故又稱為氣體標準物質。特種氣體在集成電路領域的應用：特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導體產業(yè)鏈的 上游，被稱為半導體的“源”，主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。

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